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プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社は、フロリダに本社を置く半導体製造装置メーカー、 @PlasmaThermLLC の日本の現地法人です。 製品、技術、以外のあれこれを(本社の偉い人に怒られない程度に)気軽に発信します。よろしくお願いいたします。 #PlasmaTherm #企業公式
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☆技術情報☆Technical Info☆ English follows Japanese #SHUTTLELINE® シリーズ③ #ShuttleSystem SHUTTLELINE®シリーズ3回目の今回は、名称の由来にもなっている"#シャトルシステム"のご紹介です シャトルシステムは、簡単に言うと…
Plasma-Thermの独自技術であるHDRF™を搭載した小型ドライエッチング装置Kayen™。最大200㎜φフルウェーハの枚葉式からバッチ式、3Dサンプルなど様々なサンプル形状に対応し、限りあるスペースでの実験、クリーニングや表面処理、半導体から医療応用など幅広い分野への応用に対応可能、研究開発、ラボに最適です!